在半導(dǎo)體集成電路(IC)制造過程中，BOAT（晶舟）是一種常用的工具，主要用于承載、傳送、清洗和處理芯片。它的作用類似于運輸工具，確保芯片在復(fù)雜的制造工藝中能夠順利、安全地完成各個環(huán)節(jié)的處理。 一、BOAT的定義與功能 BOAT是半導(dǎo)體制造過程中用于承載和傳送芯片的工具。它的名稱“晶舟”形象地比喻了其在半導(dǎo)……

晶圓定位邊（wafer flat）和凹槽（notch）是晶圓制造過程中用于確定晶圓方向的重要特征，它們在晶圓的加工、對準(zhǔn)和檢測中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。 1. 晶圓定位邊（Wafer Flat） 晶圓定位邊是指晶圓外緣上平直的部分，它用于標(biāo)記晶圓的特定方向，確保在晶圓的加工和處理過程中，晶圓能夠正確地對準(zhǔn)。可……

晶圓制造工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟，晶圓的邊緣區(qū)域?qū)φ麄€制造過程和成品良率具有重要影響。 1. 防止邊緣效應(yīng)影響芯片質(zhì)量 邊緣效應(yīng)指的是由于晶圓邊緣的處理不同于中心區(qū)域，導(dǎo)致的電學(xué)和物理性能的差異。晶圓邊緣由于距離加工工具較遠或光刻曝光時的處理不均，可能會出現(xiàn)性能不穩(wěn)定的情況。比如，金屬層和通孔的連接可能……

工藝整合工程師（Process Integration Engineer，PIE） 是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要崗位，負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)和優(yōu)化整個芯片制造流程中的工藝整合。這一角色需要將多個制造工藝步驟整合為一個無縫的流程，以確保芯片的性能、良率和可靠性。 一、核心職責(zé) 1、工藝整合 將不同的工藝模塊（如光刻、蝕刻、……

1、什么是埃（Angstrom）？ 埃（符號：?）是一種非常小的長度單位，主要用于表示微觀領(lǐng)域的尺度，例如原子、分子之間的距離，或者晶圓制造中的薄膜厚度。1 ? 等于 (10^{-10}) 米，也就是0.1納米（nm）。為了更直觀地理解這個概念，我們可以通過以下比喻說明： 一根人的頭發(fā)直徑約為70,000納……

"AT"、"MV"、"HE"、"ATV"實際上是SMIC在其晶圓制造工藝中使用的一些標(biāo)識符，通常與特定的工藝、技術(shù)類型和特色流程相關(guān)。SMIC 2025 MPW 班車表如下： 1. AT — Advanced ……

Qtime管控（Queue Time Control）是半導(dǎo)體制造過程中一個重要的和效率管理環(huán)節(jié)，尤其在刻蝕工藝（ETCH）中顯得尤為重要。 一、Qtime的定義和重要性 Qtime（Queue Time）即“排隊時間”，是指在生產(chǎn)流程中，某一工序或設(shè)備在接收到任務(wù)后，等待處理的時間。具體來說，Qtime是指晶圓在一個工序的前一工序完成到該工序開始的時間間隔。在刻蝕工藝中，Qtime主要是指晶圓在不同的刻蝕步驟之間的等待時間，或者從晶圓進入刻蝕機到開始刻蝕的時間。 Qtime的管控至關(guān)重

作為晶圓制造中的核心指標(biāo)之一，生產(chǎn)周期時間（Cycle Time，簡稱CT）對于衡量制造效率和產(chǎn)能至關(guān)重要。 1. 什么是生產(chǎn)周期時間？ 生產(chǎn)周期時間是指從生產(chǎn)原料（如硅片）進入生產(chǎn)線，到最終產(chǎn)品（如完成制造的晶圓或芯片）從生產(chǎn)線輸出所需要的全部時間。在晶圓制造領(lǐng)域，Cycle Time 是衡量生產(chǎn)效率、分……

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，recipe（工藝配方）是指一套精確定義的工藝參數(shù)和操作程序，用于指導(dǎo)生產(chǎn)設(shè)備執(zhí)行特定的加工任務(wù)。它貫穿于晶圓制造的各個工藝環(huán)節(jié)，是實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量控制以及生產(chǎn)效率提升的核心工具。 一、Recipe 的定義與重要性 1、什么是Recipe？ Recipe 是一套設(shè)備參數(shù)的集合……

一、Dummy Wafer 的定義與作用 Dummy Wafer，中文稱為填充片，是在晶圓制造過程中專門用于填充機臺設(shè)備的晶圓，通常不會用于實際生產(chǎn)，也不會直接作為成品出售。其主要作用是為滿足設(shè)備運行的特定要求或約束，確保設(shè)備的工藝性能穩(wěn)定，同時優(yōu)化資源利用率并減少生產(chǎn)風(fēng)險。 Dummy Wafer 的設(shè)計……

光罩（Mask），也稱為掩膜版，是集成電路（IC）制造過程中核心且關(guān)鍵的元件之一。作為光刻技術(shù)的核心工具，光罩將設(shè)計好的電路圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面，其質(zhì)量直接決定了芯片制造的精度和性能。 1. 光罩的基本結(jié)構(gòu) 光罩是一種特殊的“模版”，由兩部分組成： 基底材料：石英。石英具有高透明度和低熱膨脹系數(shù)的特性，……

CIM（Computer Integrated Manufacturing）系統(tǒng)是現(xiàn)代制造業(yè)，尤其是半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的基石。它通過計算機技術(shù)將制造過程中的各類資源、技術(shù)、流程和管理系統(tǒng)集成，形成高度協(xié)同的數(shù)字化生產(chǎn)體系。 一、CIM系統(tǒng)的本質(zhì)和定義 CIM系統(tǒng)是一個融合了管理技術(shù)、信息技術(shù)、自動化技術(shù)和系統(tǒng)工程技術(shù)的復(fù)雜系統(tǒng)，旨在實現(xiàn)制造過程的高效集成和優(yōu)化。在半導(dǎo)體行業(yè)中，CIM系統(tǒng)被稱為工廠的“總指揮官”，負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)復(fù)雜的制造環(huán)節(jié)。它涵蓋從生產(chǎn)規(guī)劃、設(shè)備控制到質(zhì)量管理等多個領(lǐng)域，為晶圓廠