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寸土寸金的晶圓為啥要留平邊(flat)或凹槽(notch)?

發布時間:2024-09-19作者來源:薩科微瀏覽:2495

晶圓上留下的平邊(flat)或凹槽(notch)主要用于幫助在制造和處理過程中確定晶圓的類型、摻雜和晶向等信息。

1. 晶圓的晶向識別

硅晶圓是由單晶硅錠通過切片制成的,硅晶錠的晶向(晶體結構排列的方向)對于半導體器件的性能和加工工藝非常重要。

晶向包括常見的(100)、(110)和(111)晶向,不同晶向的硅表面有不同的物理和化學性質,對器件的電性能和蝕刻工藝會產生不同的影響。因此,在加工過程中必須確保晶向的正確識別。

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平邊(flat)或凹槽(notch)就是用來指示晶向的。通過這些標識,可以快速確定晶圓的具體晶向,從而指導后續的晶圓加工操作。

2. 摻雜類型的識別

半導體制造過程中,硅晶圓可以通過摻雜不同的元素(如硼、磷等)來形成p型或n型導電類型。p型硅晶圓摻入的是三價元素(如硼),而n型晶圓摻入的是五價元素(如磷)。

平邊(flat)不僅指示晶向,還提供了摻雜類型的信息。通過flat的相對位置和形狀,工藝人員可以立即識別晶圓的導電類型(p型或n型),從而避免使用錯誤類型的晶圓進行器件制造。

3. 機械對準的便捷性

晶圓在制造的多個環節中需要進行定位和對準,如光刻、蝕刻、摻雜等。在這些工藝中,需要精確定位晶圓的方向,確保每一步工藝都與前一步保持一致性。

在2英寸到6英寸的晶圓上,使用平邊(flat)作為對準參考點,工藝設備可以方便地將晶圓放置到正確的位置。對于8英寸及以上的大尺寸晶圓,notch更為常見。notch更小,不占用晶圓的有效面積,并且現代自動化設備可以更容易識別和處理notch。

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4. 晶圓尺寸與標識方式的關系

傳統上,2英寸到6英寸的晶圓主要使用flat,這種較大平邊的標識方便手動和半自動的設備進行對準和識別。平邊提供了足夠大的視覺參考,便于手工操作。

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而8英寸及以上的晶圓由于其尺寸較大,平邊會占據較多的有效制造區域。notch的引入解決了這個問題:它僅在晶圓的邊緣留有一個很小的凹槽,既保留了標識功能,又[敏感詞]限度地提高了晶圓的有效面積利用率。

5. 可根據客戶需求定制

雖然一般情況下8英寸及以上晶圓使用notch,8英寸以下晶圓使用flat,但根據客戶的需求,也可以對標識方式進行定制。例如,一些客戶可能要求8英寸晶圓依然使用flat來滿足特定設備或工藝的需求。SEMI對wafer的標準如下:

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平邊(flat)和凹槽(notch)的主要作用是提供晶圓的晶向和摻雜信息,同時幫助設備對準晶圓。在小尺寸晶圓中,flat方便手動操作,而在大尺寸晶圓中,notch能有效節省制造面積,并且與現代自動化設備更匹配。這些設計確保了晶圓加工過程的精確性和效率,同時我們一看晶圓就知道一些晶體的基本信息。

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